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洁净室的常见的几种气流方式

2016-05-25 15:55:30   作者:kewatt  出处:科瓦特


层流式:层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高
架地板或两侧隔板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为
CLASS1-100。其型式可分为二种:

                                       洁净室气流组织示意图
水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,
一般在下流侧污染较严重。

                     水平层流洁净室图
垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中
或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其他工作区域。


                          垂直层流洁净室
乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间
墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级
1000-100,000级。

                                       乱流洁净室示意图
复合式:复合式为将乱流式及层流式予以符合或并用,可提供局部超洁净之空气。我们也称之为非单向流。

                               

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